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如何檢測無塵室內(nèi)5μm以上的粉塵?

  • 發(fā)布日期:2023-08-01      瀏覽次數(shù):2192
    • 如何檢測無塵室內(nèi)5μm以上的粉塵?

      潔凈室和潔凈室的評估通常使用粒子計數(shù)器。 這是因為目標(biāo)微小粒子是不可見的。 然而,典型粒子計數(shù)器的最大粒徑為5μm。 實際上,5μm~100μm的范圍肉眼是不可見的,但實際上,顆粒計數(shù)器并不清楚這個范圍內(nèi)是否有灰塵。

      ◆5μm以上的垃圾堆積
      在潔凈室中看不見的灰塵中,真正麻煩的是尺寸小于1μm的微觀顆粒。 這是因為它不會永遠(yuǎn)落在地上,而是漂浮,并被這里和那里的人的運動所吸引。

      然而,潔凈室技術(shù)的進步使得控制這種微量廢物相對容易。 HEPA過濾器是其中的核心。 去除超過 99.97% 大于 0.3 μm 的顆粒。 潔凈室通過該HEPA過濾器以及氣流,正壓,通風(fēng)等的作用去除微小的碎屑。




      然而,5~100μm的垃圾幾乎肉眼看不見,而是在氣流上漂流,而是下落并堆積。 如果你把它放在無人看管的地方,潔凈室的內(nèi)部會在你不知不覺中充滿垃圾。
      然后,在某些時候,它會粘附在工件上并導(dǎo)致缺陷。

      ◆對5μm以上的垃圾有效清洗
      事實上,我們早就知道這一點。 例如,在半導(dǎo)體工廠中,地板通常具有光柵結(jié)構(gòu),這樣垃圾就不會積聚在地板上,而垃圾會掉落在地板下。 此外,潔凈室的四個原則是“不堆積"和“清除"。 清潔是處理這種大小的垃圾的有效方法。 但問題是垃圾是看不見的!

      ◆5μm以上的垃圾從何而來?
      讓我們在項目符號中列出主要的。 1. 臟空氣從外部進入, 2. 工人產(chǎn)生粉塵, 3. 潔凈室工具和設(shè)備(固定和操作)產(chǎn)生的粉塵, 4. 帶入并產(chǎn)生附著在原材料、包裝材料等上的垃圾, 5. 無塵室中堆積的垃圾的重新漂浮 我認(rèn)為根據(jù)工藝和工件的特性,還有其他各種原因。
      最重要的是,只有項目1可以在潔凈室中直接解決。

      ◆對于10,000級用戶,更重要的是采取5μm或更大的垃圾防護措施
      10,000級潔凈室用于許多行業(yè)和工藝,但我認(rèn)為有很多情況的共同特征是以后無法去除灰塵,例如“粘貼",“繪畫",“印刷",“氣相沉積"和“粘合"。 并且在許多情況下,與這種良好產(chǎn)品率相關(guān)的垃圾大小為5~100μm。
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      不要忽視5~100μm的灰塵!
      讓我們總結(jié)一下上面的故事。 以萬級環(huán)境為目標(biāo)的粉塵~顆粒,根據(jù)其大小可分為三種類型。 1.有三種類型的可見垃圾,可見尺寸~2.100μm至5μm,不可見尺寸約3.5μm至0.3μm,無法用粒子計數(shù)器測量。 在一般環(huán)境中,看不到可見的垃圾 2.3. 在潔凈室中,除可見垃圾外,3.可通過潔凈室功能清除微小垃圾。 但是,不容忽視的是5~100μm的灰塵。 如果不通過清潔去除,則潔凈室本身無法將其清除。
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      左圖顯示了一般環(huán)境和潔凈室中的除塵便利性。 在潔凈室中,可以輕松減少可通過氣流去除的5μm或更小的灰塵(顆粒)。




















































      各種潔凈室燈的介紹


      偏振離子潔凈室燈型號:NP-1
      潔凈室燈系列中光線強的類型


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      如果條件良好,您可以在潔凈室中看到約10μm的灰塵。 它可以提升各種強大的表面,包括地板、墻壁、漂浮的灰塵、附著在工件表面的灰塵和劃痕,以及粘附在潔凈室窗簾上的污垢和外觀缺陷。

      潔凈室輕型迷你N型號:CSPV-1000-N

      緊湊,重量輕,成本低! 所有三個節(jié)拍清潔的強大盟友!

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      雖然體積小,但發(fā)出的光高達1000流明,強光使灰塵,碎屑,劃痕等脫穎而出。 建議在清潔潔凈室之前和之后進行檢查! 具有3級調(diào)光功能,可根據(jù)使用區(qū)域使用。
      *它是潔凈室燈迷你的繼任者。

      粉塵探測器L3SQ Bar
      型潔凈室燈,LED并排,透鏡聚焦


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      檢查附著在平面上的異物非常容易,當(dāng)與明場照明(適用于產(chǎn)品顏色、形狀、
      缺陷等)結(jié)合使用時,以及作為暗場照明的光源(適用于檢查微小灰塵等
      沉積物)時,可以獲得很高
      的結(jié)果。 如果您使用可以在可選角度自由移動的[扶手支架]
      ,則可以在不固定的情況下以易于看到的角度工作。


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