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用于無塵室內(nèi)5μm到100μm顆粒的可視化光源介紹

  • 發(fā)布日期:2024-08-20      瀏覽次數(shù):207
    • 用于無塵室內(nèi)5μm到100μm顆粒的可視化光源介紹

      粒子計(jì)數(shù)器通常用于評(píng)估潔凈室和潔凈室。這是因?yàn)槟繕?biāo)微觀灰塵(顆粒)是肉眼看不見的。然而,典型粒子計(jì)數(shù)器的最大粒徑為 5 μm。事實(shí)上,5μm到100μm的范圍用肉眼是看不清楚的,但粒子計(jì)數(shù)器實(shí)際上無法判斷這個(gè)范圍內(nèi)是否有灰塵。

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      大于5μm的垃圾堆積。
      在潔凈室中所有看不見的垃圾中,真正麻煩的是尺寸小于1微米的微小顆粒。這是因?yàn)樗鼈儾粫?huì)落到地面上,而是漂浮在周圍,隨著人們的移動(dòng)而被卷入不同的地方。

      然而,隨著潔凈室技術(shù)的進(jìn)步,控制這種微小尺寸的灰塵變得相對(duì)容易。其核心是 HEPA 過濾器。去除 99.97% 以上的大于 0.3μm 的顆粒。潔凈室使用這種HEPA過濾器、氣流、正壓、通風(fēng)等來去除微小灰塵。




      然而,5~100μm大小的灰塵雖然肉眼幾乎看不見,但它卻會(huì)落下并積聚起來,而不是隨氣流飄移。如果無人看管,潔凈室在不知不覺中就會(huì)布滿垃圾。
      然后,在某個(gè)時(shí)刻,它會(huì)粘在工件上并導(dǎo)致缺陷。
      ◆對(duì)大于5μm的污垢有效清洗
      事實(shí)上,這一點(diǎn)早已為人所知。例如,為了防止灰塵積聚在地板上,半導(dǎo)體工廠和其他設(shè)施中的常見做法是在地板上使用格柵結(jié)構(gòu),以便將灰塵傾倒在地板下方。另外,潔凈室的四項(xiàng)原則是“不要存放"和“移走"。清潔是處理這種規(guī)模垃圾有效的方法。但問題是垃圾是看不見的!
      ◆5μm以上的粉塵從何而來?
      我將在要點(diǎn)中列出主要內(nèi)容。 1. 2、外界污濁空氣侵入。工人產(chǎn)生的粉塵,3。潔凈室內(nèi)工具和設(shè)備產(chǎn)生的粉塵(靜止時(shí)和運(yùn)行時(shí)); 5、帶入、產(chǎn)生附著在原材料、包裝材料等上的垃圾。潔凈室內(nèi)積聚的碎片重新懸浮 根據(jù)工藝和工件的特性,還有各種其他可能的原因。
      重要的是只有第 1 項(xiàng)可以在潔凈室中直接處理。
      ◆對(duì)于10,000級(jí)用戶,更重要的是采取5μm以上的防塵措施。
      萬級(jí)潔凈室應(yīng)用于許多行業(yè)和流程,但一個(gè)共同的特點(diǎn)是事后不能除塵,不能用于“粘貼"、“噴漆"、“印刷"、“沉積" ",或者“膠水",我認(rèn)為在這個(gè)過程中有很多使用它的情況。很多情況下,影響好產(chǎn)品質(zhì)量的碎片尺寸為5~100μm。
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      不要忽視 5 至 100 μm 的灰塵!
      我們來總結(jié)一下上面的故事。 10,000 級(jí)環(huán)境中的粉塵顆粒根據(jù)其大小可分為三種類型。 1.垃圾分為三種類型:可見尺寸?2.100μm至5μm,不可見尺寸,以及粒子計(jì)數(shù)器無法測(cè)量的尺寸?3.5μm至0.3μm不可見尺寸。在正常環(huán)境下,看得見的垃圾是看不見的 2.3。垃圾無法處理。潔凈室中,除可見垃圾外,3.使用潔凈室功能可以去除微小的灰塵。但不容忽視的是5~100μm的灰塵。這不能通過潔凈室本身去除,除非通過清潔去除。
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      左圖顯示了在一般環(huán)境和潔凈室中除塵是多么容易。在潔凈室中,更容易減少5μm以下的灰塵(顆粒),可以通過氣流去除。

      讓我們通過使其可見來清除垃圾!
      Polarion 潔凈室燈是一種幫助可視化垃圾的工具。如果條件良好,此燈可以看到潔凈室內(nèi)部小至10μm左右的灰塵,
      潔凈室地板和墻壁上附著的灰塵,潔凈室窗簾,潔凈室中漂浮的灰塵,工件表面附著的灰塵,強(qiáng)烈突出工件上的裂紋、外觀不良等缺陷。

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      Polarion潔凈室燈<<型號(hào):NP-1>>是采用HID光源的C.C.潔凈室燈系列中光源強(qiáng)的手持燈。

      如果條件好的話,在潔凈尺內(nèi)可以看到小至10μm左右的灰塵。它還突出顯示潔凈室中的漂浮碎片,以及地板、墻壁、潔凈室窗簾和工件上的碎片和劃痕。這是清潔時(shí)不可少的物品。


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