介紹用于半導(dǎo)體制造工藝和電路板安裝工藝的稱(chēng)重傳感器

發(fā)布日期：2024-09-11      瀏覽次數(shù)：138

介紹用于半導(dǎo)體制造工藝和電路板安裝工藝的稱(chēng)重傳感器




TEAC稱(chēng)重傳感器的特點(diǎn)

• 我們可以提供與您其他公司的稱(chēng)重傳感器具有相同形狀和性能的稱(chēng)重傳感器。

• 可以根據(jù)相同形狀的稱(chēng)重傳感器生產(chǎn)功能強(qiáng)大的定制版本。

• 可以制造諸如晶體生長(zhǎng)稱(chēng)重傳感器等專(zhuān)用模型。

• 我們專(zhuān)注于低容量和小尺寸產(chǎn)品。

拉錠

用于拉制半導(dǎo)體晶圓所需的硅、藍(lán)寶石等單晶。
即使在各種氣體環(huán)境下，也能高精度、穩(wěn)定地檢測(cè)提升過(guò)程中的微小負(fù)載變化。

通過(guò)在籽晶前端安裝稱(chēng)重傳感器來(lái)進(jìn)行載荷控制。



兼容的稱(chēng)重傳感器：晶體生長(zhǎng)稱(chēng)重傳感器


TT-XNⅡ / TT-XNⅡ(G)
TT-XNS / TT-XNS(G)

模型	TT-XNⅡ（常壓型） TT-XNⅡ（G）（常壓氣體吹掃型）		TT-XNS（常壓型） TT-XNS(G)（常壓氣體吹掃型）
額定容量	低容量部分：100N	高容量部分：500N	20N～500N
允許過(guò)載	600N		120%RC
過(guò)載保護(hù)*	可以是		可以是
體重	8公斤		8公斤
配件	φ6，6芯屏蔽電纜，前端 NDIS插孔para（長(zhǎng)度待討論）		φ10，6芯屏蔽電纜，前端 NDIS插孔（長(zhǎng)度請(qǐng)咨詢(xún)）
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*過(guò)載保護(hù)

• TT-XNⅡ：

• 機(jī)械制動(dòng)器在重力方向上約 120% 的負(fù)載下保護(hù)稱(chēng)重傳感器。在相反方向（向上方向），通過(guò)將載荷傳輸部件與稱(chēng)重傳感器分離來(lái)保護(hù)稱(chēng)重傳感器。

• TT-XNS：

• 在重力方向上，稱(chēng)重傳感器在 110% 至 120% 負(fù)載時(shí)受到機(jī)械制動(dòng)器的保護(hù)。在相反方向（向上方向），稱(chēng)重傳感器在大約 120% 負(fù)載時(shí)受到機(jī)械制動(dòng)器的保護(hù)。

兼容的稱(chēng)重傳感器：用于大直徑鑄錠負(fù)載管理


TU-PGRS ○○N/KN-G

模型	TU-PGRS ○○N/KN-G
額定容量	2kN～5kN
負(fù)載方向	拉伸/壓縮
特征	超高精度
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切割（線(xiàn)鋸）

鋼絲張力和錠壓制負(fù)載由稱(chēng)重傳感器監(jiān)控。
使壓住錠的力恒定。

兼容的稱(chēng)重傳感器


第355章

模型	第355章
額定容量	49N～
負(fù)載方向	壓縮
特征	防水性能 IP68 不銹鋼
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拋光（拋光/研磨）

用于控制硅片拋光（研磨/拋光）過(guò)程中的壓力。

測(cè)量旋轉(zhuǎn)臺(tái)的壓緊壓力（力）



稱(chēng)重傳感器安裝位置：根據(jù)工作流程，可能安裝在上拋光段，也可能安裝在上下部分。

兼容的稱(chēng)重傳感器：用于拋光


TC-FR(T) ○○N-G6
TC-NSRSP(T) ○○N-G3
TU-PGRS ○○N/KN-G

模型	TC-FR(T) ○○N-G6	TC-NSRSP(T) ○○N-G3	TU-PGRS ○○N/KN-G
額定容量	200N～500N	50N～500N	100N～500N
負(fù)載方向	壓縮	壓縮	拉伸/壓縮
特征	所有公司通用形狀 的標(biāo)準(zhǔn)型	帶濺射薄膜測(cè)量?jī)x的 高響應(yīng)型	超高精度
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兼容的稱(chēng)重傳感器：用于包裝


TU-GR ○ KN-G
TU-NR-C□□KN-G
TU-MXR2(T) ○○N-G3

模型	TU-GR ○ KN-G	TU-NR-C□□KN-G	TU-MXR2(T) ○○N-G3
額定容量	5kN~	1kN～	100N～500N
負(fù)載方向	拉伸/壓縮	拉伸/壓縮	拉伸/壓縮
特征	剪切結(jié)構(gòu) 抗偏心性能、抗疲勞性能	剪切結(jié)構(gòu) 抗偏心性能、抗疲勞性能	適用于小型拋光設(shè)備
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晶圓測(cè)試

用于測(cè)試晶圓上形成的芯片的電氣特性時(shí)的負(fù)載管理。

探針卡壓力管理



兼容的稱(chēng)重傳感器


TU-GR ○ KN-G
TU-NR-C□□KN-G
TU-CR(T) ○○N/KN-G6

模型	TU-GR ○ KN-G	TU-NR-C□□KN-G	TU-CR(T) ○○N/KN-G6
額定容量	5kN~	1kN～	1kN?2kN
負(fù)載方向	拉伸/壓縮	拉伸/壓縮	拉伸/壓縮
特征	剪切結(jié)構(gòu) 抗偏心性能、抗疲勞性能	薄 剪切結(jié)構(gòu) 耐偏心、耐疲勞	高輸出/光束型
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粘合

用于粘合壓力管理。

兼容的稱(chēng)重傳感器：用于引線(xiàn)鍵合


TC-USR(T)29 ○○N-G3
TC-NSRSP(T) ○○N-G3
TC-SR(T)50N-G
TC-SR(T)100N-G3

目的	壓力	壓力	壓力	壓力
模型	TC-USR(T)29 ○○N-G3	TC-NSRSP(T) ○○N-G3	TC-SR(T)50N-G	TC-SR(T)100N-G3
額定容量	50N?100N	50N?100N	50N	100N
負(fù)載方向	壓縮	壓縮	壓縮	壓縮
特征	過(guò)載保護(hù)功能	采用高響應(yīng)型濺射薄膜測(cè)量?jī)x	所有公司通用形狀 的標(biāo)準(zhǔn)型	所有公司通用形狀 的標(biāo)準(zhǔn)型
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TU-MBR(T) ○○N-G3

目的	線(xiàn)材抗拉強(qiáng)度
模型	TU-MBR(T) ○○N-G3
額定容量	2N?5N?10N?20N
負(fù)載方向	拉伸/壓縮
特征	允許過(guò)載500%
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兼容的稱(chēng)重傳感器：用于倒裝芯片接合/芯片接合


TC-NSRSP(T) ○○N-G3
TC-SR(T) ○○NG
TC-MFSR(T) ○ ○ NG

目的	壓力	壓力	壓力
模型	TC-NSRSP(T) ○○N-G3	TC-SR(T) ○○NG	TC-MFSR(T) ○ ○ NG
額定容量	50N?100N	20N?50N	20N?50N
負(fù)載方向	壓縮	壓縮	壓縮
特征	采用高響應(yīng)型濺射薄膜測(cè)量?jī)x	所有公司通用形狀 的標(biāo)準(zhǔn)型	特殊形狀
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最終檢查（處理程序）

進(jìn)行半導(dǎo)體器件的性能評(píng)估和合格/不合格判斷。

兼容的稱(chēng)重傳感器


TC-NSRSP(T) ○○N-G3
TC-SR(T) ○○NG
TC-SR(T)100N-G3

模型	TC-NSRSP(T) ○○N-G3	TC-SR(T) ○○NG	TC-SR(T)100N-G3
額定容量	50N?100N	20N?50N	100N
負(fù)載方向	壓縮	壓縮	壓縮
特征	采用高響應(yīng)型濺射薄膜測(cè)量?jī)x	所有公司通用形狀 的標(biāo)準(zhǔn)型	所有公司通用形狀 的標(biāo)準(zhǔn)型
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貼片機(jī)

它用于控制貼片機(jī)的負(fù)載，該貼片機(jī)用于在電路板安裝過(guò)程中將電子元件放置在印刷電路板上。

吸附放置板子時(shí)測(cè)量重量



稱(chēng)重傳感器安裝在底座底部

兼容的稱(chēng)重傳感器


TC-SR(T) ○○NG
TC-MFSR(T) ○ ○ NG
TC-USR(T)29 ○○N-G3

模型	TC-SR(T) ○○NG	TC-MFSR(T) ○ ○ NG	TC-USR(T)29 ○○N-G3
額定容量	20N?50N	20N?50N	20N?50N
負(fù)載方向	壓縮	壓縮	壓縮
特征	所有公司通用形狀 的標(biāo)準(zhǔn)型	特殊形狀	過(guò)載保護(hù)功能
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化學(xué)溶液管理

管理液體和氣瓶的剩余量。

使用低地板稱(chēng)重傳感器平臺(tái)秤檢測(cè)氣缸重量



兼容稱(chēng)重傳感器（秤）


TL-LF
TL-PM
TL-PS
TL-PW

TL-LF

模型	TL-LF
體重	0.4公斤
額定容量	0.6/1/3公斤
允許過(guò)載	120%
特征	超小
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TL-PM

模型	TL-PM12	TL-PM18	TL-PM21
體重	0.7公斤	1.4公斤	1.7公斤
額定容量	10/20/50公斤
允許過(guò)載	150%
特征	超小
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TL-PS

模型	TL-PS12	TL-PS18	TL-PS21	TL-PS25	TL-PS28
體重	0.8公斤	2.0公斤	2.7公斤	3.8公斤	4.5公斤
額定容量	10/20/50公斤	10/20/50/100/200公斤		10/20/50/100/200/300/400公斤
允許過(guò)載	150%
特征	標(biāo)準(zhǔn)型
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模型	TL-PS33	TL-PS42	TL-PS50	TL-PS60
體重	6.2公斤	11.1公斤	16.8公斤	18.2公斤
額定容量	20/50/100/200/300/400公斤	50/100/200/300/400公斤	100/200/300/400公斤
允許過(guò)載	150%
特征	標(biāo)準(zhǔn)型
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TL-PW

模型	TL-PW22	TL-PW34	TL-PW43	TL-PW53	TL-PW60
體重	3.4公斤	7.4公斤	12.9公斤	21.9公斤	23.0公斤
額定容量	10/20/50/100/200公斤	20/50/100/200/300/400公斤	50/100/200/300/400公斤	100/200/300/400公斤
允許過(guò)載	150%
特征	標(biāo)準(zhǔn)型