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水平儀對半導體設備制造上使用的作用
在半導體制造過程中，水平儀是一種重要的測量工具，用于確保設備的水平度和精度。半導體設備對水平度的要求高，因為微小的傾斜或不平整都可能影響晶圓加工的質(zhì)量，導致產(chǎn)品缺陷。以下是關于半導體設備用水平儀的相關信息：
確保設備水平：半導體制造設備（如光刻機、刻蝕機、CVD設備等）需要在絕對水平的狀態(tài)下運行，以保證工藝精度。
提高產(chǎn)品質(zhì)量：水平度不足可能導致晶圓表面不均勻，影響薄膜沉積、光刻對準等關鍵工藝。
減少設備磨損：設備在不水平的狀態(tài)下運行會增加機械部件的磨損，縮短設備壽命。
高精度：半導體制造對水平度的要求通常在 0.01mm/m 甚至更高。
穩(wěn)定性：水平儀需要長期保持穩(wěn)定，避免因溫度變化或振動導致測量誤差。
抗干擾性：半導體工廠環(huán)境中可能存在振動、電磁干擾等，水平儀需要具備抗干擾能力。
易于校準：水平儀需要能夠快速、準確地校準，以確保測量結(jié)果的可靠性。
在半導體設備中，常用的水平儀
原理：通過電子傳感器（如加速度計）測量水平度，并將結(jié)果顯示在數(shù)字屏幕上。
優(yōu)點：精度高、讀數(shù)直觀、可存儲數(shù)據(jù)。
應用：用于高精度設備的安裝和校準。
這個兩軸數(shù)字水平（有線）是高精度和輕量級水平。與常規(guī)級別相比，它可以以數(shù)字方式顯示，從而使現(xiàn)場調(diào)整非常容易。另外，顯示和級別通過有線連接連接，因此可以從距離進行測量。因為它是輕巧的，所以它也可以在精致的區(qū)域（例如處理晶圓的區(qū)域）進行測量。氣泡出現(xiàn)在監(jiān)視器屏幕上，您可以通過查看氣泡型水平來調(diào)整它們。由于以數(shù)字方式顯示它，因此操作員沒有讀取變化。
在垂直間距狹窄的區(qū)域也可以進行水平觀測！
| 物品 | 內(nèi)容 | |
|---|---|---|
| 傳感器部分 | 線性 - 角度 | x方向±0.3°方向±0.3 ver |
| 測量分辨率 | 0.0002DEG | |
| 零點可重復性精度 | ±0.001度或以下 | |
| 響應速度 | 50毫秒或更少 | |
| 工作溫度 | -10℃至 +50℃ | |
| 主體 | microcom | 32位 |
| A/D部門 | 14位 | |
| 測量范圍 | ±0.3度 | |
| A/D分辨率 | 0.000025度 | |
| 顯示單元 | 0.0001度 | |
| 通過范圍設定范圍 | 0.0001度 | |
| 范圍切換 | 0.01/ 0.001/ 0.0001 | |
| 超出顯示 | 超過0.3度 | |
| 功能 | 傳感器連接數(shù) | 1 ch |
| 顯示部分 | 4.3英寸顏色LCD觸摸面板 | |
| 480 x 272點 | ||
| 電源 | 專用AC適配器DC6V/2A | |
| 4個AA電池（1.5V） | ||
| 外部尺寸 | 監(jiān)視器 | W96 x D35 x H145毫米 |
| 傳感器（基于SUS） | φ50×H19毫米 | |
| 電纜 | 2m | |
| 重量 | 監(jiān)視器 | 392 g |
| 傳感器 | 70 g | |
| 配件 | 4個AAA電池（1.5V） | |
| 專用AC適配器DC6V/2A | ||
| 操作說明 | ||
| 保修單 |
準備工作：清潔設備底座和水平儀，確保測量面平整。
初步調(diào)平：使用氣泡水平儀進行初步調(diào)平。
精確測量：使用電子水平儀或激光水平儀進行高精度測量。
調(diào)整設備：根據(jù)水平儀的讀數(shù)調(diào)整設備底座的調(diào)平螺絲。
驗證校準：重復測量，確保水平度達到要求。
記錄數(shù)據(jù)：保存測量結(jié)果，便于后續(xù)維護和檢查。
定期校準：水平儀需要定期校準，以確保測量精度。
避免振動：在使用和存放過程中，避免水平儀受到劇烈振動。
溫度控制：水平儀對溫度敏感，應在恒溫環(huán)境下使用。
清潔保養(yǎng)：保持水平儀的清潔，避免灰塵或油污影響測量結(jié)果。
