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日本shibaura換能器型多離子真空計GMi 系列

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更新日期:2024-03-22

簡要描述:

日本shibaura換能器型多離子真空計GMi 系列
本產品是一種換能器型多離子真空計,可連接不同量程的測量頭。
在將常規(guī)方法的多種原理集成到一個外殼中的復雜真空計中,“一根測針需要*更換測針"、“測針復雜易出故障"、“一根測針"。我經常聽到客戶反饋,例如“貴"。

日本shibaura換能器型多離子真空計GMi 系列

日本shibaura換能器型多離子真空計GMi 系列

本產品是一種換能器型多離子真空計,可連接不同量程的測量頭。
在將常規(guī)方法的多種原理集成到一個外殼中的復雜真空計中,“一根測針需要*更換測針"、“測針復雜易出故障"、“一根測針"。我經常聽到客戶反饋,例如“貴"。
采用這種方法,可以進行寬帶測量,顯著降低運行成本,并支持低環(huán)境負荷。

GMi系列的特點

  • 廣域測量可以測量
    從大氣壓到高真空區(qū)域(10 5至 5 × 10 -8 Pa)(同時使用 GPM 和 GAM 時)。

  • 可連接不同量程
    的測針,采用多離子規(guī),可根據應用選擇測針。

  • 準確的大氣壓測量
    可以輕松準確地確認大氣壓(使用 GAM 時)

  • 支持低環(huán)境負荷
    由于可以根據需要僅更換觸控筆,因此可以降低運行成本。


  • 配備可檢查異常情況的 LED,以提高可視性


  • 易于更換可維護的觸控筆

  • 各模式規(guī)格(組合模式)
    GMi+GPM(離子規(guī)+皮拉尼規(guī))
    GMi+GPM+GAM(離子規(guī)+皮拉尼規(guī)+氣壓傳感器)

  • 測量值輸出信號
    壓力為0~10V輸出(Log輸出)

  • 控制輸出信號
    設定點 3 點輸出是可能的 (GMi-1)

  • 串行通信規(guī)格
    RS232C / RS485 通信是可能的(GMi-2)

  • 符合標準 符合
    CE 標準

利用

  • 用于太陽能電池、FPD、半導體、電子元件等各種制造設備的高真空區(qū)域的工藝控制

  • 在線式、單晶片式等多工藝室的各種制造設備的高真空區(qū)域的極限壓力確認

  • 高真空/超高真空設備的壓力測量

日本shibaura換能器型多離子真空計GMi 系列

規(guī)格

模型GMi-1GMi-2
規(guī)格標準規(guī)格串行通信規(guī)格
自適應多離子規(guī)傳感器M34 (NW16), M35 (NW25)
可以連接傳感器 多離子規(guī) 傳感器:1 個
皮拉尼規(guī) GPM:1 個(可選)
大氣壓力傳感器 GAM:1 個(可選)
采樣時間70 毫秒 4 個移動平均線
測量值輸出輸出電壓 DC 0 至 10 V,Log 輸出 0.75 V / 1 位
壓力轉換公式 V = 7.25 + 0.75 × (Log P -2) P = 10 ^ {(V --7.25) / 0.75 + 2}
* 用于設定點調整也可用作(僅 GMi-1)的輸出電源
更新時間50 毫秒
控制輸入信號FIL ON / OFF, FIL 1/2, DEGAS ON / OFF
集電極開路輸入,負邏輯

* FIL ON / OFF 信號的使用方法因模式而異。

――――
控制輸出信號傳感器錯誤,設定點1/2/3
排放Ballid
燈絲電源監(jiān)控
額定值:24 VMAX,50 mAMAX,
飽和電壓 1 V
――――
串行通信規(guī)格――――RS232C / RS485
LED顯示屏POWER / ERROR:電源、錯誤 LED(閃爍狀態(tài)取決于每種模式)
FIL:發(fā)射球 LED
SET1:設定點1 LED
SET2:設定點 2 LED
SET3:設定點 3 LED
――――
發(fā)射電流1 mA(1 x 10 -3 Pa 或更?。?0 µA
脫氣電子沖擊解吸法(電子轟擊)1 mA,330 V
傳感器耐壓2 x 10 5 Pa(絕對壓力) * 法蘭和卡箍的承受壓力需要單獨考慮。
傳感器內部容積34 厘米3 (M34)
工作溫度限制10-50℃
工作濕度范圍15-80%(但無冷凝)
貯存溫度-20~65℃(不通電時不結露)
知識產權保護等級IP30
電源電壓DC 20-28 V(紋波、噪聲 1% 或更低) 19 W 或更低(電源打開時為 156 W)
輸入/輸出連接器D-sub 15針(M2.6螺絲)
大量的控制器:約 530 克,BA 觸控筆(M34):63 克
外形尺寸 W x D x H (mm)144 x 75 x 62 或更?。刂破鞑糠郑?/span>
符合標準行政長官
選項POWER / ERROR:多離子規(guī)傳感器M34 (NW16), M35 (NW25)
材質:燈絲 1 lr / Y 2 O 3涂層,燈絲 2 W(鎢)
其他 Pt C Mo, SUS, W
皮拉尼規(guī)SPU
皮拉尼規(guī)傳感器WP-16 (NW16)
材質:燈絲 Pt、其他 BS / Ni、電鍍、鎳、焊料
氣壓傳感器GAM (NW16) 材質:SUS316L
單元電纜GPM 為 0.5 毫米
GAM為 0.5 毫米
顯示單元1 CH:ISG1 型(使用DC 24 V 電源)
4 CH:IM1R1 型(使用DC 24 V 電源)
            IM2R1 型(使用AC 100 V 電源)
顯示電纜GMi 和顯示單元之間的電纜
2 m、5 m、10 m、15 m


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