悠久影院,国产午夜三级一区二区三,中日AV乱码一区二区三区乱码,五月综合久久

產品展示
PRODUCT DISPLAY
產品展示您現(xiàn)在的位置: 首頁 > 產品展示 > > 水質檢測設備 >日本sscooling半導體冷水機組Nikola 3K/5K 實驗室冷水機

日本sscooling半導體冷水機組Nikola 3K/5K 實驗室冷水機

訪問次數(shù)：1187

更新日期：2024-03-24

簡要描述：

日本sscooling半導體冷水機組Nikola 3K/5K
用于等離子刻蝕和其他半導體應用的高容量熱電冷水機組

日本sscooling半導體冷水機組Nikola 3K/5K 實驗室冷水機
品牌其他品牌產地進口
冷卻方式水冷式儀器種類分體式

日本sscooling半導體冷水機組Nikola 3K/5K

image.png

  • 我們專為半導體加工而設計的最高容量冷水機組

  • 3，000 或 5，000 瓦的冷卻能力

  • ±0.05°C 溫度穩(wěn)定性/重復性

  • 兩種泵選項，流量高達 10 gpm，壓力高達 100+ psig

  • 減少晶圓間的變化，消除晶圓效應

  • 比基于壓縮機的冷水機組節(jié)能高達 80%

  • 采用熱電技術，可靠性高，維護成本低

  • 模塊化設計，易于維護

  • 消除氟利昂和其他有害制冷劑，符合新的環(huán)境法規(guī)

  • 使用更少的設施水和昂貴的冷卻劑，如氟惰性或高登

  • 通信接口可用于 AMAT、LAM、TEL 和 Hitachi 系統(tǒng)

  • 通用電源 – 插入即可在世界任何地方使用

  • 等離子蝕刻、等離子灰分、計量、CMP 和其他工藝的解決方案

規(guī)格

工作范圍：
-10°C 至 80°C
環(huán)境溫度：
10°C 至 40°C 無冷凝
穩(wěn)定性/可重復性：
恒定負載下± 0.05°C（即使在接近環(huán)境溫度時）
制冷量*：
尼古拉 3K：3000 瓦 @ 20°C（20°C 設施用水） 尼古拉 5K：5000 瓦 @ 20°C（20°C 設施用水）
冷卻液/工藝流體：
針對氟惰性/高登或HFE流體進行設置
提供可選的乙二醇/水配置
工藝流體接頭：
3/4“ 世偉洛克（316 不銹鋼）
泵：
磁耦合渦輪機（高功率或高功率）
流量：
高達 10 加侖/分鐘（38 升/分鐘），流量和
壓力可調（10 至 100 psig）
油箱容積：
10 升（2.6 加侖），帶 2 個液位傳感器
設施用水：
25 升/分鐘（6 加侖/分鐘）@ 7-25°C 過濾，處理過的循環(huán)設施冷卻水，pH 6.5 至 8.2
設施水配件：
3/4“ 世偉洛克（316 不銹鋼）
N2/CDA（必需）：
500 sccm -30°C 露點或更低的 CDA 或 N2，
30-60 psig （2-4 bar），用于低溫操作
接液材料：
工藝：鋁，不銹鋼和聚合物設施
：密封硬質陽極氧化鋁
和不銹鋼
尺寸（寬 x 深 x 高）：
22 英寸 x 28 英寸 x 35 英寸（56 厘米 x 71 厘米 x 89 厘米）
重量：
~300 磅（136 千克）干
電源輸入：
200-240 VAC 3 相，50/60 Hz，最大 20/30 A
斷路器：
20/30 安培 480 VAC 3 極，帶 GFCI
遠程EMO：
外部干接點
通信：
泛林， 應用材料公司， RS232， 其他
警報：
溫度、液位、系統(tǒng)或組件
故障（顯示、干接點和機器接口）
標準：
半 S2-0200，符合 F47 標準，CE
保證：
2 年



留言框

  • 產品：

  • 您的單位：

  • 您的姓名：

  • 聯(lián)系電話：

  • 常用郵箱：

  • 省份：

  • 詳細地址：

  • 補充說明：

  • 驗證碼：

    請輸入計算結果（填寫阿拉伯數(shù)字），如：三加四=7

聯(lián)系方式
  • 電話

  • 傳真

在線交流
国产精品久久久久久网站| 色噜噜在线观看| 亚洲日本VA中文字幕| 又黄又爽又无遮挡免费的网站| 91精品一区二区三区综合在线爱| 特区爱奴在线观看| 亚洲色偷拍区另类无码专区| 精品一区二区三区免费视频| 欧美人与动牲交a免费观看| 人伦片无码中文字| 亚州中文字幕无码中文字幕| 马公市| 日本视频www| 亚洲插插插| 久久亚洲私人国产精品| 欧美国产成人久久精品| 亚洲∧V久久久无码精品| WWW久久无码天堂MV| 四虎国产精品永久在线无码| 资溪县| free性ⅴideo另类重口| 一本色道久久综合亚洲精品图片| 黄色资源在线观看| 天堂最新| 91精品国产综合久久精品图片| 国产孩CAO大人XXXX| 亚洲AV日韩AV综合在线观看| 岛国无码AV不卡一区二区| 国产无遮挡又黄又爽网站| 无码一区二区三区老色鬼| 巴东县| 激情网站| 性乌克兰18videos少妇| 9区中文字幕在线| 亚洲一区二区三区在线观看| 国产欧美一区二区三区精品酒店| 欧美在线一区二区三区| 国产噜噜噜噜久久久久久久久| 飘花电影网| 亚洲精品伊人| 2021国产精品|